X熒光光譜儀技術已成功應用于環境、食物鏈、動植物、農產品、人體組織細胞及器官、生物醫學材料、組織細胞、醫學試劑、動植物器官、代謝產物中的無機元素測定。

X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量分析，元素范圍13Al-92U，含量范圍ppb至100%，檢出限到2pg。
X熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。X射線光譜儀與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質中的組成元素產生的特征輻射，通過側里和分析樣品產生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質成分的定性和定量信息。
X熒光光譜儀優點
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。