FWS-1000等離子體光譜儀技術指標
射頻發生器
1. 電路類型：電感反饋式自激振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調諧，功率反饋閉環自動控制。 
2. 工作頻率：40MHz±0.05％ 
3. 頻率穩定性：＜0.1% 
4. 輸出功率：800W—1200W 
5. 輸出功率穩定性：＜0.3% 
6. 電磁場泄漏輻射強度：距機箱30cm處電場強度E：＜2V/m

進樣裝置
輸出工作線圈內徑25mm，3匝 
矩管：三同心型，外徑20mm的石英矩管 
同軸型噴霧器外徑6mm 
雙筒形霧室外徑34mm 
氬氣流量計規格和載氣壓力表規格：
等離子氣流量計（100-1000）L/h （1.6-16L/min） 
輔助氣流量計（10-100）L/h （0.16-1.66L/min） 
載氣流量計（10-100）L/h （0.16-1.66L/min）
載氣穩壓閥（0-0.4MPa）
冷卻水：水溫：15-25℃ 流量>5L/min 
水壓>0.1MPa 冷卻水：電阻率>1MΩ

分光器
1． 光路： Czerny-Turner mounting
2． 焦距： 1000 mm 
3． 光柵規格： 離子刻蝕全息光柵， 
刻線密度3600線/mm， 
刻線面積（80×110） mm 
（可選用刻線密度2400線/mm，刻線面積：80×110mm 
4． 線色散率倒數：0.26nm/mm 
5．分辨率： ≤ 0.008nm 
6. 掃描波長范圍： 
3600線/mm掃描波長范圍：195—500 nm 
2400線/mm掃描波長范圍：195—800 nm 
7． 步進電機驅動小步距: 0.0006 nm 
8． 出射、入射狹縫：20μm 
9. 反射鏡規格： （78×105×16）mm 
10． 透鏡φ30，1：1成像 
11． 分光器恒溫裝置：32℃±1℃

光電轉換裝置
1. 光電倍增管規格：R212UH或R928 
2. 光電倍增管負高壓：200-1000V 穩定性<0.05％ 
3. 光電倍增管電流測量范圍：1nA~100μA
4. 信號采集為v/F交換：1mV對應100Hz